0204355Integrated Circuit Technology
เทคโนโลยีวงจรรวม
สังกัดคณะวิทยาศาสตร์, ภาควิชาฟิสิกส์
หน่วยกิต3 (3-0-0)
สถานะรายวิชา:ใช้งาน  ข้อมูลเพิ่มเติมอื่นๆ
เงื่อนไขรายวิชา: 0204242

Course Description
การปลูกผลึกและการเตรียมแว่นผลึก การทำความสะอาดแว่นผลึก กระบวนการเอพิแทกเชียล ออกซิเดชัน การแพร่ซึม การฝัง ซี วี ดี การระเหยโลหะในสูญยาการและการสปัตเตอร์ ลิโทกราฟี การปรับปรุงแต่งผิวการประกอบ การบรรจุ อุปกรณ์
และส่วนประกอบของไอซี เช่น ตัวด้านทาง ตัวจุ ไดโอก เป็นต้น ไอซึมอส และไอซีไบโพลาร์ทรานซิสเตอร์